Rezultati predloženega raziskovalnega programa so omogocili zasnovo, nacrtovanje in realizacijo novih prototipov 3D struktur, ki bodo vplivale na nadaljnji razvoj na raznih področjih znanosti in tehnologije, kot npr: - na področju bazičnih infrastrukturnih znanosti ( vede o materialih, vede o osnovnih efektih v novih materialih in strukturah, vede o tehnologijah itd.), kar bo vplivalo na nadaljnji razvoj na strateških področjih kot so elektronika, računalništvo, telekomunikacije, povezave računalnikov z okoljem itd. - na področju kvalitete življenja in zdravja, npr. v medicini (nove metode diagnostike z detektorji x-žarkov s povišano občutljivostjo in drugo) - spodbujanja nivoja znanosti in posledicno tudi konkurenčnosti in gospodarske rasti, zlasti glede izboljšanih proizvodov in procesov, novih tehnologij in drugo Tako so bile v okviru raziskovalnega dela na obravnavanem raziskovalnm projektu realizirane različne mikrostrukture z močnim znanstvenim in aplikativim potencialom: - izdelava prototipov ročic (cantilevers) za aplikacije v senzorjih mehanskih napetosti(strain gauge), senzorjih pospeškov, v resonančnih senzorjih, za aktuatorje in drugo - izdelava prototipov tankih silicijevih membran za aplikacije v piezoresisitivnih senzorjih tlaka, senzorih vlage, biosenzorjih in drugo - izdelava prototipov tankih silicijevih membran s centralno odebelitvijo (bossed diaphragms) za aplikacije v piezoresisitivnih senzorjih tlaka s preobremenilno zaščito in za področje nizkih tlakov, v senzorjih pospeškov in drugo - izdelava prototipov V-žlebov (V-groove) različnih geometrij (U, V, Omega) za aplikacije v optičnih telekomunikacijah pri povezovanju steklenih vleken in drugo - izdelava prototipov mikrokonic za AFM, FED prikazalnike in drugo - izdelava prototipov mikrozrcal na različnih kristalografskih ravninah silicija za aplikacije v optičnih telekomunikacijah - izdelava prototipov silicijevih mikrotrakastih detektorjev x-žarkov s stransko osvetlitvijo z povišano občutljivostjo, za aplikacije v medicinski diagnostiki kot mamografija in drugo - izdelava prototipov pametnih senzorjev (smart/intelligent sensors) za aplikacije npr. v piezoresisitivnih senzorjih tlaka ter drugih senzorskih in aktuatorskih sistemih