V članku smo predstavili meritve plazemskega potenciala gibajoče se ionizacijske cone v DC magnetronskem naprševanju. Prostorske in časovne meritve smo naredili s premično emisijsko in plavajočo sondo. Iz teh podatkov smo rekonstruirali tridimenzionalno porazdelitev potenciala, električnega polja, prostorskega naboja ter energije elektronov. Meritve so pokazale obstoj močnih električnih polj vzporedno in pravokotno na magnetronsko tarčo. Najmočnejša električna polja izhajajo iz dvojne plazemske plasti na čelu ionizacijske cone. Meritve kažejo, da ima dvojna plast ključno vlogo za samovzdrževanje plazme, saj lahko elektroni pridobijo več deset elektronvoltov iz azimutnega električnega polja. Ko se elektroni gibljejo v magnetni pasti, nad katodo, prihaja do vzajemnega delovanja med potencialno strukturo in ionizacijskim procesom. Ionizacijska cona se premika v smeri -ExB, medtem ko se elektroni gibljejo v smeri ExB in povzročajo ionizacijo plina. Gibanje ionizacijske cone določa sila lokalnega električnega polja, ki deluje na ione na čelu cone. Domnevamo, da podobni fizikalni procesi potekajo tudi v ionizacijskih conah, ki nastajajo v HiPIMS-režimu.
COBISS.SI-ID: 30248743