Ena od lastnosti trdih PVD prevlek, ki pomembno vpliva na njihove tribološke lastnosti, je topografija njihove površine. Ta je zelo odvisna od topografije gole podlage in topografije, ki nastane na površini prevleke med procesom njene priprave (ionsko jedkanje, nanos). Morfologijo in hrapavost površine prevleke pa v veliki meri določajo nodularni in drugi defekti. V vabljenem predavanju, ki je bilo predstavljeno na 13. mednarodnem simpoziju o razprševanju in plazemskih procesih (Kyoto, Japonska) je bil pojasnjen vpliv nodularnih in drugih defektov v trdih prevlekah na njihove tribološke, korozijske in oksidacijske lastnosti.
B.04 Vabljeno predavanje
COBISS.SI-ID: 28705831Pri nanašanju tankih plasti s postopkom maagnetronskega naprševanje je zelo pomembno poznavanje osnovnih fizikalnih procesov v plazmi. Vse do pred kratkim je veljalo prepričanje, da je magnetronska plazma enakomerno porazdeljena znotraj obroča, kjer je zgoščena zaradi magnetnega polja. Z uporabo hitre kamere pa je naš sodelavec dr. Matjaž Panjan dokazal, da magnetronska plazma ni enakomerno porazdeljena, ampak je lokalizirana na majhno področje pravilne oblike (ionizacijske cone). Ta področja, ki so podobna podaljšani puščici, oblikujejo različne simetrične vzorce. Ti spremenijo svojo obliko, če spremenimo delovni tlak in parametre naprševanja. Ionizacijske cone, ki se vrtijo v ravnini magnetrona z obodno hitrostjo 2-10 km/s, imajo pomembne vpliv na transport elektronov in ionov v magnetronski plazmi.
B.05 Gostujoči profesor na inštitutu/univerzi
COBISS.SI-ID: 28455463Velika trdota in žilavost trdih prevlek na osnovi TiAlN/TiSiN in CrAlN/TiSiN je posledica njihove nanoplastne in nanokompozitne strukture. Da bi pojasnili, kako dizajn prevlek vpliva na njihove lastnosti, smo pripravili in okarakterizirali tudi monoplastne TiAlN, nanokompozitne TiSiN in večplastne TiAlN/TiSiN trde prevleke. Vse prevleke so bile narejene pri enojni, dvojni in trojni rotaciji podlag. Ugotovili smo, da dizajn prevleke in način rotacije pomembno vplivata na njeno mikrostrukturo in teksturo in posledično na njihove mehanske lastnosti, odpornost na širjenje razpok, adhezijo, topografijo površine in tribološko obnašanje. Za nanoplastne in nanokompozitne prevleke je značilna kompaktna nanokristalinična mikrostruktura, medtem ko imajo enoplastne prevleke stebričasto mikrostrukturo z velikimi kristalnimi zrni. S prehodom iz enojne na trojno rotacijo se velikost kristalnih zrn zmanjša, prevleka pa postane bolj gosta. Zato je za nanoplastne in nanokompozitne prevleke, ki jih pripravimo z dvojno- ali trojno rotacijo, značilna večja trdota, večja odpornost na širjenje razpok, večja obrabna obstojnost in bolj gladka površina.
D.09 Mentorstvo doktorandom
COBISS.SI-ID: 28907303