V članku smo kot prvi opisali in izmerili odvisnost gostote nevtralnih atomov kisika v plazemskem reaktorju v odvisnosti od načina sklopitve med plazmo in generatorjem za vzbujanje plazme. Ustvarimo lahko dva načina razelektritve: v H-načinu je plazma omejena na ozko območje, kjer imamo zelo visoko gostoto atomov. V E-načinu pa je plazma razpotegnjena po celotnem volumnu in gostota atomov je manjša. Dobljeni rezultati so pomembni za optimizacijo fluksa atomov na površino pri jedkanju obdelovancev.
COBISS.SI-ID: 24953383
V tem prispevku opisujemo metodo optične emisijske spektroskopije, ki smo jo na novo vpeljali z namenom, da bi spremljali reakcijske produkte, ki nastanejo pri interakciji plazemskih delcev z obdelovancem. S spremljanjem reakcijskih produktov lahko dobimo že med samo obdelavo dodatno informacijo o intenzivnosti površinskih reakcij. V primeru jedkanja in posledično odstranitve organskih depozitov s površine, bi namreč lahko na ta način opazili močan padec določenih linij (CO, OH, Na) v optičnem spektru.
COBISS.SI-ID: 24836647