Raziskan je bil vpliv termičnega napuščanje napršenih Ti/Pt plasti na spremembo električne upornosti. Ugotovljen je bil tudi porast temperaturnega koeficienta upornosti (TCR) s temperature napuščanja za izdelane tankoplastne Ti/Pt grelce in senzorske upore. Narejena je bila mikrostrukturna analiza z AES in AFM metodama, ki sta pokazali, da se prične rekristalizacija in rast zrn že pri 500 °C, kar sovpada z ugotovljenimi električnimi lastnostmi. Ugotovljeno je bilo, da dodatni izolacijski ukrepi mikrofluidnega sistema močno zmanjšajo porabo moči Ti/Pt grelcev, obenem pa podaljšajo termični časovni odziv sistema.
COBISS.SI-ID: 8160596
V članku je predlagana geometrijska modifikacija mikropregadne črpalke. Pravokotna oblika mikročrpalke je primerna za realizacijo na LOC sistemu. Sistem trakastih mikročrpalk za paralelno (vendar individualno) črpanje kapljevin zagotavlja boljšo izrabo prostora v primerjavi z sistemom klasičnih mikročrpalk z diskastim aktuatorjem. V simulacijskem okolju COMSOL smo sestavili sklopljen 3D elektromehanskofluidni model črpalke, ki ga odlikuje hiperelastični MooneyRivlin model za PDMS elastomer, vpeljava inercije v model kapljevine in vpeljava robnega pogoja idealnega lepênja kapljevine na stene kanala. Model je omogočil virtualno prototipiranje naprave, natančno analizo delovanja in optimizacijo ključnih geometrijskih parametrov.
COBISS.SI-ID: 9729620
Članek prikazuje rešitve za kontrolo vgrajenih mehanskih napetosti v tankih filmih deponiranih v PECVD reaktorju in nekatere MEMS aplikacije. Analizirane so bile plasti amorfnega silicija, amorfnega silicijevega karbida in amorfnega silicijevega nitrida. Glavni analizirani parametri so bili: temperatura depozicije, sestava plinov, vrednosti in način visokooziroma nizkofrekvenčne moči. Pokazalo se je da RF frekvenčni plazemski način (13.56 MHz oziroma 400 kHz) predstavlja glavni vpliv na vgrajene mehanske napetosti v filmih.
COBISS.SI-ID: 8972116
V prispevku predstavljamo metodo za preprečevanje odpovedi mikročrpalke v primeru črpanja mešanice kapljevine in plina in izboljšanje omočljivosti pri začetnem polnjenju z medijem. Boljša omočljivost prepreči nastanek zračnih žepov pod membrano in omogoči začetni zagon mikročrpalke. Metoda temelji na dodajanju majhnih količin sredstva za zmanjševanje površinske napetosti (Triton X100) neposredno v medij. Izdelali smo PZT difuzorsko mikročrpalko s stekleno membrano, ki nam je omogočila opazovanje mešanja kapljevine in plina med njenim delovanjem. Dodajanje majhnih količin sredstva za zmanjševanje površinske napetosti v črpan medij povzroči pod vplivom nihajoče membrane razpad plinskih mehurčkov v množico manjših mehurčkov, ki lažje zapustijo mikročrpalko.
COBISS.SI-ID: 9933140
Podan je bil pregled tehnologij za mikroobdelavo, ki se uporabljajo pri izdelavi silicijevih mikrostruktur. Osnovne tehnologije mikroobdelave, kot so različne metode jedkanja silicija (izotropno, anizotropno, mokro, suho,…), jedkanje drugih pomembnih materialov (Pyrex steklo, Borofloat steklo, ipd), kot tudi anodno bondiranje so bile obravnavane. Kot ilustracija uporabe omenjenih tehnologij je bil podan pregled mikrostruktur izdelanih v LMSE kot npr. mikročrpalk, mikroreaktorjev skupaj s karakterizacijo in področji uporabe le teh.
COBISS.SI-ID: 8473940