Podan je podroben pregled aktivnosti v LMSE na področju mikroobdelave silicija, stekla ter kompatibilnih materialov, ki sestavljajo moderne mikroelektronske senzorje, aktuatorje ter MEMS stukture. Hkrati so bila predstavljene aplikacije iz različnih področij, za katere se v LMSE omenjene strukture razvijajo.
B.04 Vabljeno predavanje
COBISS.SI-ID: 8470100Predstavljeno je bilo znanstveno raziskovalno delo v LMSE iz stališča uporabe le tega v Slovenski industriji ter obrtni dejavnosti. Poudarek je bil na naprednih tehnologijah s področja MEMS, ki višajo dodano vrednost modernih mikrostruktur, senzorjev ter aktuatorjev.
F.18 Posredovanje novih znanj neposrednim uporabnikom (seminarji, forumi, konference)
COBISS.SI-ID: 11767835Izvedena je bila raziskava Al tankih plasti nanešenih z naprševanjem iz dveh različnih kompozicij naprševalnih tarč Al-1%Si in Al-1%Si-0.5%Cu. Površinska morfologija zrn in neželenih izboklin (hillocks) deponiranih tankih plasti v odvisnosti od temperature naprševanja in temperature napuščanja je bila preiskana z optično mikroskopijo, SEM in AFM. Velikost zrn je močneje odvisna sprememb temperature naprševanja, kjer film šele raste, v primerjavi s spremembami temperature napuščanja, ko je plast že formirana. Al-1%Si-0.5% Cu kompozicija tarče rezultira v plasti z manjšimi zrni v primerjavi z Al-1%Si tarčo.
F.18 Posredovanje novih znanj neposrednim uporabnikom (seminarji, forumi, konference)
COBISS.SI-ID: 8784980