V prispevku smo predstavili načrtovanje, izdelavo in karakterizacijo Pt/Ti uporovnega grelca na silicijevi bazi. Poudarek je na izračunu dimenzij naprašenega metalnega meandra, ki pogojujejo končno karakteristiko izdelanega grelca (upornost, moč, velikost substrata). Uporabili smo »lift-off« tehniko v kombinaciji z DC napraševanjem metalnih plasti in visoko temperaturnim sintranjem. Ugotovili smo, da temperatura sintranja vpliva na končno električno karakteristiko Pt/Ti grelca, s čimer smo pojasnili manjše odstopanje merjenih parametrov od računanih.
COBISS.SI-ID: 7136852
Predstavljena je izboljšana metoda za digitalno temperaturno kompenzacijo kapacitivnih senzorjev tlaka. Analizirane so bile možnosti kompenzacije senzorskih parametrov kot sta nelinearnost in temperaturna občutljivost. Predstavljeni so različni pristopi k opisu senzorske karakteristike, kot npr. ulomljena polinomska aproksimacija in Chisholmovi aproksimanti. Rezultati ovrednotenja so primerjani glede na tlak referenčnega tlačnega izvora. Iz rezultatov primerjave smo izbrali in predlagali najbolj ustrezno metodo temperaturne kompenzacije.
COBISS.SI-ID: 7243348