Črni silicij (BS) je mikrostrukturirana silicijeva površina z velikim razmerjem med višino in širino struktur, tipične gostote v razredu 106 mm-2 in višine struktur 100 nm do 10 µm. Za izdelavo BS v MEMS-ih uporabljamo RIE proces, kjer se za masko lahko uporabi visokoresolucijska litografija, litografija z nano-mikro delci ali RIE proces brez maske (angl. maskless process). V delu smo predstavili nekatere aplikacije BS s poudarkom na razvitem postopku, ki smo ga aplicirali na področju mikrofluidike, kjer črni silicij služil kot nosilec za Pt katalizator v mikrogorilniku.
F.18 Posredovanje novih znanj neposrednim uporabnikom (seminarji, forumi, konference)
COBISS.SI-ID: 7279444Podan je bil pregled novejših raziskovalnih aktivnosti v LMSE na področju mikro/nano tehnologij in struktur, s poudarkom na mikroobdelavi silicija, za realizacijo mikrosenzorjev, mikroaktuatorjev, mikroreaktorjev in drugih mikrostruktur. Poročali smo tudi o naših novih raziskovalnih rezultatih in v razgovoru pretresli njihov pomen in uporabnost ter možnosti za sodelovanje.
F.18 Posredovanje novih znanj neposrednim uporabnikom (seminarji, forumi, konference)
COBISS.SI-ID: 7279700