Prvi del predavanja prinaša pregled pomembnih postopkov mikroobdelave in s tem povezanih senzorskih in aktuatorskih struktur. Podan je kritičen pogled na prednosti in slabosti konkretnih tehnoloških pristopov. Drugi del predavanja podaja princip in realizacijo temperaturnih Ti/Pt tankoplastnih senzorjev in mikrogrelcev. Poudarek je na mikrostrukturnih lastnostih tankih Ti/Pt plasti in predhodne toplotne obdelave ter vpliv na spremembe električne upornosti. Predstavljene so karakterizacijske metode za merjenje TCR in uporabnost pristopa v mikroreaktorjih. Zadnji del predavanja je osredotočen na piezoresistivne senzorje tlaka, tehnologijo izdelave, temperaturne kompenzacije s poudarkom na vplivu mehanskega stresa na tankih membranah na končne karakteristike senzorja.
B.04 Vabljeno predavanje
COBISS.SI-ID: 9562708Predstavljeno je bilo znanstveno-raziskovalno delo v LMSE s stališča uporabe v slovenski industriji in obrtni dejavnosti. Glavni poudarek je bil na mikrotehnologijah s področja MEMS, ki višajo dodano vrednost naprednih mikrostruktur, senzorjev ter aktuatorjev.
F.18 Posredovanje novih znanj neposrednim uporabnikom (seminarji, forumi, konference)
COBISS.SI-ID: 11767835Podan je podroben pregled aktivnosti v LMSE na področju mikroobdelave silicija, stekla ter drugih kompatibilnih materialov, ki sestavljajo moderne mikroelektronske senzorje, aktuatorje ter MEMS stukture. Hkrati so bile predstavljene aplikacije na različnih področjih, na katerih se v LMSE načrtovane in izdelane mikrostrukture uporabljajo.
B.04 Vabljeno predavanje
COBISS.SI-ID: 8470100Potek namestitve razvojnega okolja Eclipse s prevajalnikom MSP430 GCC in vmesnikom USB-JTAG je v prvi vrsti namenjena študentom elektrotehnike študentom in diplomantom na univerzitetnem in visokošolskem strokovnem študiju. Razvojno okolje Eclipse s prevajalnikom MSP430 GCC in vmesnikom USB-JTAG ilustrira snov, ki jih pokriva predmet Razvoj digitalnih sistemov.
F.17 Prenos obstoječih tehnologij, znanj, metod in postopkov v prakso
COBISS.SI-ID: 7831380Pregledane so bile raziskovalne aktivnosti v LMSE na področju mikro/nano struktur, (mikro)elektronskih vezij, inteligentnih senzorjev ter elektronike, povezane z aplikacijami v mikrofluidiki. Poročali smo tudi o naših novih raziskovalnih rezultatih in v razgovoru pretresli njihov pomen in uporabnost ter možnosti za sodelovanje.
B.04 Vabljeno predavanje
COBISS.SI-ID: 8105044