Predstavljeno je načrtovanje, izdelava in testiranje mikrofluidne komore za dielektroforetično poljsko-pretočno separacijo bioloških celic na podlagi njihovih električnih lastnosti. Komora je zgrajena iz Pyrex stekla z glavnikastimi zlatimi elektrodami, distančnika in pokrivnega stekla, ki omogoča optično spremljanje postopka pod mikroskopom. Dosežen je bil izkoristek v višini 93%, ki je potrdil uporabno vrednost izdelana komore za ločevanje bioloških celic.
COBISS.SI-ID: 8331860
Raziskan je bil vpliv termičnega napuščanje napršenih Ti/Pt plasti na spremembo električne upornosti. Ugotovljen je bil tudi porast temperaturnega koeficienta upornosti (TCR) s temperature napuščanja za izdelane tankoplastne Ti/Pt grelce in senzorske upore. Narejena je bila mikrostrukturna analiza z AES in AFM metodama, ki sta pokazali, da se prične rekristalizacija in rast zrn že pri 500 °C, kar sovpada z ugotovljenimi električnimi lastnostmi. Ugotovljeno je bilo, da dodatni izolacijski ukrepi mikrofluidnega sistema močno zmanjšajo porabo moči Ti/Pt grelcev, obenem pa podaljšajo termični časovni odziv sistema.
COBISS.SI-ID: 8160596
Članek prikazuje rešitve za kontrolo vgrajenih mehanskih napetosti v tankih filmih deponiranih v PECVD reaktorju in nekatere MEMS aplikacije. Analizirane so bile plasti amorfnega silicija, amorfnega silicijevega karbida in amorfnega silicijevega nitrida. Glavni analizirani parametri so bili: temperatura depozicije, sestava plinov, vrednosti in način visoko- oziroma nizko- frekvenčne moči. Pokazalo se je da RF frekvenčni plazemski način (13.56 MHz oziroma 400 kHz) predstavlja glavni vpliv na vgrajene mehanske napetosti v filmih.
COBISS.SI-ID: 8972116