Podan je bil pregled tehnologij za mikroobdelavo, ki se uporabljajo pri izdelavi silicijevih mikrostruktur. Osnovne tehnologije mikroobdelave, kot so različne metode jedkanja silicija (izotropno, anizotropno, mokro, suho,…), jedkanje drugih pomembnih materialov (Pyrex steklo, Borofloat steklo, ipd), kot tudi anodno bondiranje so bile obravnavane. Kot ilustracija uporabe omenjenih tehnologij je bil podan pregled mikrostruktur izdelanih v LMSE kot npr. mikročrpalk, mikroreaktorjev skupaj s karakterizacijo in področji uporabe le teh.
B.04 Vabljeno predavanje
COBISS.SI-ID: 8473940Predstavljeno je bilo znanstveno raziskovalno delo v LMSE iz stališča uporabe le tega v Slovenski industriji ter obrtni dejavnosti. Poudarek je bil na naprednih tehnologijah s področja MEMS, ki višajo dodano vrednost modernih mikrostruktur, senzorjev ter aktuatorjev.
F.18 Posredovanje novih znanj neposrednim uporabnikom (seminarji, forumi, konference)
COBISS.SI-ID: 11767835Podan je podroben pregled aktivnosti v LMSE na področju mikroobdelave silicija, stekla ter kompatibilnih materialov, ki sestavljajo moderne mikroelektronske senzorje, aktuatorje ter MEMS stukture. Hkrati so bila predstavljene aplikacije iz različnih področij, za katere se v LMSE omenjene strukture razvijajo.
F.18 Posredovanje novih znanj neposrednim uporabnikom (seminarji, forumi, konference)
COBISS.SI-ID: 8470100