Člani programske skupine smo v zadnjih 5 letih objavili preko 250 SCI člankov, več kot polovico v 1. četrtini. Z oznako A'' se jih ponaša preko 30. Med znanstvenimi dosežki navajamo zgolj najbolj reprezentativne. Ta članek je bil objavljen v prestižni fizikalni reviji s faktorjem vpliva preko 7. V sodelovanju s partnerji iz evropskih fuzijskih centrov v okviru programa EURATOM smo opisali pomembne sinergijske učinke, ki vodijo k močnemu zmanjšanju vezave radioaktivnega tritija v plasteh hidrogeniranega ogljika.
COBISS.SI-ID: 24120615
Odkrili smo postopek za sintezo urejenih struktur nanopik silicijevega oksida in njihove spontane ureditve na površini silicijeve podlage preko fizikalnih procesov, ki so posledica porazdelitve površinskega naboja. Postopek temelji na uporabi kemijsko reaktivne kisikove plazme, ki omogoča lokalizirano oksidacijo, prerazporeditev nanopik na površini obdelovanca in v končni fazi tudi nastanek skupkov tovrstnih nanostruktur. Tovrstno obnašanje smo pojasnili z vplivom električnega polja na kinetiko površinskih procesov.
COBISS.SI-ID: 26571303
Pomembna aktivnost programske skupine je usmerjena na hitro rastoče področje interdisciplinarnih znanosti - plazemsko biomedicino. V tem članku, ki je bil objavljen v prestižni reviji s področja plazemskega inženirstva polimerov, smo pokazali možnosti čiščenja polimernih katetrov z uporabo nevtralnih kisikovih atomov, katerih izvir je brezelektrodna nizkotlačna plinska razelektritev. Pokazali smo, da kisikovi atomi opolnoma odstranijo ostanke krvnih proteinov, lastnosti katetra pa ostanejo nespremenjene.
COBISS.SI-ID: 27395879
Pri magnetronskem naprševanju se material nanaša samo na tiste podlage, ki so v vidnem polju podlag. V industrijskih sistemih za nanašanje tankih plasti so podlage namestijo na mizo, ki izvaja vrtenje, podobno planetarnemu vrtenju. Vrtenje in pozicije tarč določajo enakomernost nanesenega materiala. V članku smo uporabili računalniško simulacijo rasti tankih plasti, ki smo jo razvili za industrijski naprševalnik s planetarnim vrtenjem. S simulacijo smo študirali vpliv rotacije in postavitve tarč na rast tankih plasti ter na enakomernost nanosa. Rezultati simulacij so pokazali, da zelo periodični načini vrtenja, ki so odvisni od prestavnega razmerja vrtljive plošče in premične vzmeti, povzročijo velike neenakomernosti, tako v debelini kot v kemijski sestavi večplastnih prevlek. Manj periodični načini vrtenja izboljšajo enakomernost nanosa, čeprav se pri določenih parametrih vrtenja lahko pojavijo velike razlike v enakomernosti nanosa. Simulacija je pritegnila zanimanje raziskovalcev in podjetij ter omogočila podpis raziskovalne pogodbe z enim od večjih proizvajalcev PVDsistemov. Ker je naša raziskovalna skupina ena vodilnih v svetu na področju diagnostike defektov, je imel na to temo sodelavec dr. Peter Panjan vabljeno na mednarodni konferenci o tankih plasteh v San Diegu, ZDA.
COBISS.SI-ID: 27288615
Na fazni meji v tankoplastni hibridni strukturi C/Si/C/Si/C/Si smo z ionskim curkom na fazni meji Si/C kontrolirano formirali novo fazo, to je SiC. Med obstreljevanjem z ionskim curkom je prišlo do asimetričnega mešanja atomov C in Si, pri čemer je zreagiral del atomov v amorfno fazo SiC. Ugotovili smo parametre kontrolirane rasti SiC plasti.
COBISS.SI-ID: 26326567