V članku so predstavljeni rezultati eksperimentalne študije kapacitivnih keramičnih senzorjev tlaka, ki je bila opravljena na poskusni seriji senzorjev izdelanih v LTCC tehnologiji. Poudarek je bil na analizi temperaturnih karakteristik senzorja, ki so odvisne od geometrije in materialnih lastnosti keramične kapsule ter izvedbe električnih in mehanskih priključkov. Študija je pokazala, da na temperaturno odvisnost začetne kapacitivnosti znatno vplivajo zaostale mehanske napetosti v membrani in eventualna predhodna ukrivljenost membrane.
COBISS.SI-ID: 22591783
Obravnavani so trije različni tipi keramičnih senzorjev tlaka (kapacitivni, piezoelektrični resonančni in piezouporovni senzor) s stališča potencialne uporabe v energijsko varčnih senzorskih sistemih. Senzorji so bili izdelani v 3D LTCC strukturah z okroglo membrano na kateri so ustrezni debeloplastni senzorski elementi. Diskutirane so odločitve pri načrtovanju senzorskih elementov z vidika nizke porabe energije in primerjane so karakteristike posameznih tipov senzorjev.
COBISS.SI-ID: 22809127