Predstavljeni so rezultati eksperimentalne študije kapacitivnih keramičnih senzorjev tlaka izdelanih v LTCC tehnologiji. Poudarek je na analizi temperaturne odvisnosti karakteristik senzorja, ki so odvisne od geometrije in materialnih lastnosti LTCC strukture ter izvedbe električnih in mehanskih priključkov. Študija je pokazala, da na temperaturno odvisnost ničelne kapacitivnosti lahko nezanemarljivo vplivajo tudi zaostale mehanske napetosti v membrani in ukrivljenost membrane, ki so posledica tehnološkega postopka izdelave.
COBISS.SI-ID: 7568212
Analizirani so ključni parametri, ki jih je potrebno upoštevati pri dizajnu strukture kapacitivnega keramičnega senzorja tlaka izdelanega z uporabo LTCC materialov in tehnologije. Posebna pozornost je namenjena razlagi izmerjenih senzorskih karakteristik (linearnost, temperaturna odvisnost in vpliv merilnega in referenčnega medija).
COBISS.SI-ID: 22942247
Predstavljena je nova metoda za temperaturno kompenzacijo kapacitivnih senzorjev tlaka, ki je zasnovana na podobnih principih kot algoritmi za kompenzacijo piezouporovnih senzorjev. Analizirane so možnosti temperaturne kompenzacije in linearizacije odziva senzorja z različnimi pristopi k opisu karakteristike kot sta ulomljena polinomska aproksimacija in Chisholmovi aproksimati.
COBISS.SI-ID: 7814740
Študirali smo kapacitivni keramični senzor tlaka izdelan v LTCC strukturi s stališča uporabe v brezžičnem senzorskem sistemu. Kapacitivni senzorski princip je primeren, ker je že v osnovi energijsko varčen. Pretvorba senzorskega signala je izvedena z uporabo kapacitivno-digitalnega pretvornika AD7746. Tipične karakteristike izdelanih prototipov so: tlačna občutljivost 1.7 fF/mbar, temperaturna odvisnost ničelne kapacitivnosti 9 fF/°C in temperaturna odvisnost < 2 aF/mbar/°C. Z digitalno kompenzacijo temperaturne odvisnosti smo dosegli napako < 0,4% FS na kalibracijskem področju 10-75 °C.
COBISS.SI-ID: 23802151
Debeloplastni keramični senzorji tlaka, ki delujejo na različnih fizikalnih principih (kapacitivni, piezoelektrični resonančni in piezouporovni) so obravnavani s stališča potencialne uporabe v energijsko varčnih senzorskih sistemih. Eksperimentalni prototipi vseh treh tipov senzorjev so bili izdelani v 3D LTCC strukturah z okroglo membrano na kateri so ustrezni debeloplastni funkcijski elementi. Diskutirane so odločitve pri načrtovanju senzorjev z vidika nizke porabe energije in primerjane so karakteristike posameznih tipov senzorjev.
COBISS.SI-ID: 22809127