Razvoj tehnološkega postopka za izdelavo kapsule s tanko membrano in ozko zračno režo v LTCC strukturi je ključnega pomena za kapacitivne senzorske elemente. Analiziran je vpliv tehnoloških in geometrijskih parametrov na karakteristike senzorja ter podane smernice načrtovanja. Poleg kapacitivnih senzorjev, ki so najbolj primerni s stališča nizke porabe so analizirane možnosti za izvedbo piezouporovnih senzorjev, ki z uporabo sodobne integrirane elektronike omogočajo zelo nizko porabo (< 0,05 mW). Poročilo vsebuje pomembne podatke za sofinancerja HYB o.o. in je zaupne narave.
F.09 Razvoj novega tehnološkega procesa oz. tehnologije
COBISS.SI-ID: 23549223Stabilnost odziva membranskega kapacitivnega keramičnega senzorja zračnega tlaka je odvisna od stabilnosti samega senzorskega elementa in natančnosti ter stabilnosti elektronike za pretvorbo in procesiranje senzorskega signala. Testiranja prototipov so pokazala, da je stabilnost ničelnega odziva senzorja v mejah natančnosti konverzije z AD7746.
F.08 Razvoj in izdelava prototipa
COBISS.SI-ID: 23337255