Karakterizacija sorpcijskih lastnosti NEG St122 je bila naročena s strani PerkinElmer Optoelectronics, Wiesbaden, Nemčija v okviru pogodbe o dolgoročnem sodelovanju z IMT. Vzorci NEG so bili izbrani iz tekoče proizvodnje kanalnih pomnoževalk in analizirani z izboljšano standardno metodo, vpeljano na IMT v začetku 2006. Novost je analiza relativne sestave rezidualne atmosfere, po izvedenem sorpcijskem testu, z uporabo kvadrupolnega masnega spektrometra v dinamičnem načinu, kajti večina vzorcev NEG je nakazovala povečano formacijo metana, v nekaterih primerih pa tudi emisijo argona.
D.06 Zaključno poročilo o tujem/mednarodnem projektu
COBISS.SI-ID: 718762Karakterizacija indijevih evtektičnih spajk InSn in InBi je bila naročena s strani PerkinElmer Optoelectronics, Wiesbaden, Nemčija v okviru pogodbe o dolgoročnem sodelovanju z IMT. Vzorci indijevih spajk so bili izbrani iz tekoče proizvodnje kanalnih pomnoževalk. Poudarek je bil na meritvah razplinjevanja tekočih indijevih spajk med mehanskim mešanjem v ultravisokem vakuumu. Množina sproščenih plinov je izmerjena z inertnim viskoznostnim merilnikom z lebdečo kroglico (v statičnem načinu), njihova absolutna sestava pa s kalibriranim kvadrupolnim masnim spektrometrom (v dinamičnem načinu).
D.06 Zaključno poročilo o tujem/mednarodnem projektu
COBISS.SI-ID: 722346Za izboljšano statično sorpcijsko metodo je značilen konstanten plinski pretok in spremenljiv tlak nad getrsko površino. Inertnen SRG se uporablja za nastavitev ter in situ kalibracijo plinskega pretoka z metodo hitrosti naraščanja tlaka ter za merjenje tlaka nad getrsko površino. V merilni komori poteka akumulacija inertnih plinov (žlahtnih plinov in CH4). Z nekajkratno prekinitvijo plinskega pretoka je omogočena meritev spremembe rezidualnega tlaka. Na koncu sorpcijskega testa je omogočena tudi analiza sestave akumuliranih plinov s plinsko sunkovno metodo uporabljajoč QMS.
B.03 Referat na mednarodni znanstveni konferenci
COBISS.SI-ID: 792234Določanje množine plinov temelji na merjenju totalnega tlaka plinov, ki se sproščajo med mehanskim mešanjem In-Sn spajke v preskusni komori, povezani z akumulacijsko komoro z znanim volumnom, uporabljajoč SRG. Določanje sestave plinov temelji na opazovanju plinskih sunkov, ki pripadajo akumuliranim plinom po vpustu v analitsko komoro, opremljeno z in situ kalibriranim kvadrupolnim masnim spektrometrom in in suho vakuumsko črpalno enoto. Izbrani so rezultati preskusa razplinjevanja dveh In-Sn podložk z maso ~ 0.5 g za prikaz merilne zmogljivosti nove metode.
B.03 Referat na mednarodni znanstveni konferenci
COBISS.SI-ID: 853674Naprava za določanje črpalne hitrosti, ki je predmet izuma, je sestavljena iz podsklopa za generiranje plinskega pretoka in preskusne komore za merjenje ustreznega ravnotežnega tlaka preskusne vakuumske črpalke. Novost je, da se preskusna komora z vakuumskim merilnikom (pri izolirani črpalki) uporabi kot kalibracijski volumen za in situ kalibriranje plinskega pretoka z akumulacijsko metodo, ki zamenjuje standardizirano pretočno metodo.
F.04 Dvig tehnološke ravni
COBISS.SI-ID: 852906