Opisan je inovativen postopek karakterizacije PZT debelih plasti na predhodno žgani LTCC keramiki, s katerim smo določili materialne lastnosti PZT za potrebe numeričnega modeliranja senzorske strukture. Standardov za to področje še ni. Naša rešitev vključuje uporabo indentacijske metode za meritev elastičnih lastnosti debelih piezokeramičnih plasti in posebej prilagojeno metodo za določanje transverzalnega piezoelektričnega koeficienta. Dobro ujemanje rezultatov simulacij testnih aktuatorjev z eksperimentalnimi rezultati je potrdilo pravilnost naše hipoteze in merilnih postopkov.
COBISS.SI-ID: 21287719
Obravnavan je piezoelektrični resonančni senzorja tlaka s PZT debeloplastnim aktuatorskim/senzorskim elementom izdelanim na pred-žganji 3D LTCC strukturi. Posebna pozornost je namenjena karakterizaciji debelih PZT plasti in numeričnem modeliranju senzorske strukture. Dobro ujemanje numeričnih in eksperimentalnih rezultatov je potrdilo pravilnost vpeljanih karakterizacijskih postopkov ter pravilnost in uporabnost zgrajenih numeričnih modelov.
COBISS.SI-ID: 21688615