Napake, ki se pojavljajo v tankih plasteh, narejenih s PVD postopkom, lahko bistveno zmanjšajo njihovo zaščito. To še posebej velja za korozijsko odpornost tankih plasti. Pojasnili smo nastanek napak in ugotovili, da s pravilnim postopkom čiščenja zmanjšamo število defektov v plasti, kar bistveno izboljša korozijske lastnosti.
COBISS.SI-ID: 22830887
Tanke plasti Al-(-Nb, Mo, Ta), debeline 325 do 400nm so bili nareje s magnetronsko kodepozicijo pri sobni temperaturi. Za vse sestave zlitin Al(-Nb, Mo, Ta) mikrotrdoto dominira trši element. Mikrotrdota monotonično pada z naraščajočim deležem aluminija. Mikrotrdota amorfne AlTa plasti je bila višja od masivnega Ta.
COBISS.SI-ID: 22687527