Študirali smo debeloplastne PTC termistorje, izdelane na LTCC strukturah. Ugotovili smo, da se zaradi interakcij med LTCC podlagami in sensorsko plastjo znižajo plastne upornosti, medtem ko temperaturni koeficienti upornosti ostanejo praktično nespremenjen. Ti rezultati so pokazali, da se PTC termistrorji, žgani na LTCC susbtratih, lahko uporabljajo kot zelo natančni senzorji temperature v 2D in 3D LTCC MEMS strukturah.
COBISS.SI-ID: 20533799
Pripravili smo debeloplastne paste na osnovi piezoelektričnih PZT materialov. Tiskali in žgali smo jih na razmeroma nereaktivnih korundnih substratih in različnih LTCC substratih. Izmerili smo dielektrične, feroelektrične in piezolektrične karakteristike. Ugotovili smo, da so piezoelektrični odzivi debelih filmov na steklastih LTCC substratih precej nižji kot na inertni keramiki. Prav tako je nižja tudi dielektrična konstanta. Študij interakcij med LTCC susbstrati in PZT filmi je pokazal, da se med žganjem zaradi reakcij s steklom iz substrata tvori v PZT plasteh sekundarna faza.
COBISS.SI-ID: 21319975
Piezoelektrične PZT debele plasti so bile pripravljene na različnih LTCC podlagah in na relativno kemijsko inertni korundni keramiki. Mikrostrukturo smo analizirali z elektronskim vrstičnim mikroskopom in EDS energy-dispersive X-ray (EDS) analysis), Dielektrične in piezo električne karakteristike PZT plasti so bile slabše v primerjavi s karakteristikami plasti na korundnih podlagah. Razlog za to so bile interakcije med steklastimi LTCC podlagami in PZT plastmi. Nižje vrednosti so posledica nastanka faz z nizko polarizacijo med procesom žganja.
COBISS.SI-ID: 21623847
Nekatere aplikacije zahtevajo 3D LTCC strukture s pokopanimi votlinami in kanali. Da te strukture ohranijo pravilno geometrijo brez deformacij med laminacijo (stiskanje nežganih LTCC plasti pri 79oC) ali sintranjem, se pogosto uporabljajo tako imenovane žrtvovane plast. Študirali smo te materiale, ki so na osnovi ogljika v obliki past ali folij. Uporabili smo termo gravimetrično analizo za določitev temperature začetka oksidacije in temperature, pri kateri material popolnoma zgori. Izdelane strukture smo preiskovali s SEM in EDS.
COBISS.SI-ID: 22627879
Študirali smo električne in mikrostrukturne karakteristike debeloplastnih NTC termisrorjev na LTCC strukturah. Zvišanje plastnih upornosti in beta faktorje, v primerjavi s plastmi, žganimi na Al2O3, smo pripisali difuziji steklaste faze iz LTCC podlave v termistorske plasti. Dobljeni rezultati so pokazali, da se NTC termistorji lahko iporabljajo kot natančni temperaturni senzorji v LTCC MEMS strukturah.
COBISS.SI-ID: 22815783