Določili smo značilnosti velikega plazemskega reaktorja, ki ga uporabljamo pri izvajanju raziskav v okviru tega projekta. Reaktor je primeren za nanos prevlek, podobnih silicijevim oksidom. Ovrednotili smo vakuumske parametre, ki so pomembni za kinetiko nanosa takšnih plasti. Posebej smo se osredotočili na čas zadrževanja plina v reakcijski komori, ki ima po naši hipotezi ključno vlogo pri kinetiki nanašanja takšnih plasti. Opravili smo tudi preliminarne meritve učinkovitosti nanašanja tovrstnih prevlek, rezultate pa tolmačili z lastnostmi plinske plazme v tem industrijskem reaktorju.
COBISS.SI-ID: 32737319