Projekti / Programi
Uvajanje novih tehnologij mikroobdelave in pametne elektronike za tlačne in optične senzorje
Koda |
Veda |
Področje |
Podpodročje |
2.09.00 |
Tehnika |
Elektronske komponente in tehnologije |
|
Koda |
Veda |
Področje |
T170 |
Tehnološke vede |
Elektronika |
T171 |
Tehnološke vede |
Mikroelektronika |
T150 |
Tehnološke vede |
Tehnologija materialov |
senzorji, zanesljivost, elektronika za kontrolo senzorskih signalov, mikroobdelava
Raziskovalci (14)
št. |
Evidenčna št. |
Ime in priimek |
Razisk. področje |
Vloga |
Obdobje |
Štev. publikacijŠtev. publikacij |
1. |
11682 |
mag. Uroš Aljančič |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2004 - 2007 |
0 |
2. |
01926 |
dr. Slavko Amon |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2004 - 2007 |
0 |
3. |
08346 |
Darko Belavič |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2004 - 2007 |
0 |
4. |
17125 |
Matjaž Cvar |
|
Tehnični sodelavec |
2004 - 2007 |
0 |
5. |
03333 |
dr. Žarko Gorup |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2004 - 2007 |
0 |
6. |
23672 |
Janez Gramc |
|
Tehnični sodelavec |
2004 - 2007 |
0 |
7. |
19391 |
Mitja Jerlah |
|
Tehnični sodelavec |
2004 - 2007 |
0 |
8. |
24574 |
Sandi Kocjan |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2004 - 2007 |
0 |
9. |
04721 |
dr. Andrej Levstek |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2004 - 2007 |
0 |
10. |
20186 |
dr. Matej Možek |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2004 - 2007 |
0 |
11. |
16034 |
dr. Marko Pavlin |
Meroslovje |
Raziskovalec |
2004 - 2007 |
0 |
12. |
05075 |
dr. Drago Resnik |
Elektronske komponente in tehnologije |
Vodja |
2004 - 2007 |
0 |
13. |
04378 |
dr. Marina Santo Zarnik |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2004 - 2007 |
0 |
14. |
04383 |
dr. Danilo Vrtačnik |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2004 - 2007 |
0 |
Organizacije (2)
Povzetek
Predlagane aplikativne raziskave bodo podprte z bazičnimi znanji, pridobljenimi pri predhodnem delu in nadgrajene z novimi pristopi in znanji. V prvi vrsti bodo raziskave in razvoj potekali na nadgradnji tlačnih senzorjev s t.i. pametno elektroniko (smart senzor), ki bo omogočala tako temperaturne kompenzacijo, avtokalibracijo kot tudi sledljivost, ki je danes eden ključnih parametrov končnega izdelka. Raziskana bo tudi možnost miniaturizacije obstoječih piezouporovnih senzorjev tlaka za nove aplikacije, za katere je na tržišču povečano zanimanje. Predvsem bo potrebno raziskati in ugotoviti efekte višjega reda, ki jih povzroči miniaturizacija in s tem povezane omejitve uporabnosti. Na podlagi izsledkov raziskav vpliva mehanskih napetosti v tankih plasteh na membrani bo izvedena tudi raziskava dolgoročne stabilnosti delovanja ter ustreznih tehnoloških rešitev pri mikroobdelavi silicija.
Na področju merilne optične senzorike bodo opravljene raziskave, ki bodo združile znanja na področju mikroobdelave silicija in obstoječe tehnologije silicijevih fotosenzorjev v novi aplikaciji t.i refleksnih senzorjev, tržno zanimivih za našega partnerja. Za realizacijo teh aplikacij bodo potrebna še dodatna znanja, ki jih bomo pridobili s teoretičnim in eksperimentalnim delom v okviru mikroobdelave silicijevih zrcalnih ravnin. Na osnovi novih raziskovalnih spoznanj bo mogoče identificirati pomanjkljivosti obstoječih mikrostruktur ter načrtovati nove z izboljšanimi lastnostmi.
Rezultati in znanja izvirajoča iz predloženega dela, bodo služili kot dobra podpora slovenski industriji v njenih prizadevanjih, da obstane na področju visokih tehnologij.