Projekti / Programi
Tehnologije silicijevih senzorjev tlaka
Koda |
Veda |
Področje |
Podpodročje |
2.09.02 |
Tehnika |
Elektronske komponente in tehnologije |
Elektronske komponente |
Koda |
Veda |
Področje |
T171 |
Tehnološke vede |
Mikroelektronika |
senzorji tlaka, mikroobdelava silicija, polprevodniška tehnologija
Raziskovalci (12)
št. |
Evidenčna št. |
Ime in priimek |
Razisk. področje |
Vloga |
Obdobje |
Štev. publikacijŠtev. publikacij |
1. |
11682 |
mag. Uroš Aljančič |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
0 |
2. |
01926 |
dr. Slavko Amon |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
0 |
3. |
08346 |
Darko Belavič |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
0 |
4. |
17125 |
Matjaž Cvar |
|
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
0 |
5. |
20186 |
dr. Matej Možek |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
0 |
6. |
16034 |
dr. Marko Pavlin |
Meroslovje |
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
0 |
7. |
02313 |
dr. Boštjan Peršič |
Energetika |
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
0 |
8. |
05075 |
dr. Drago Resnik |
Elektronske komponente in tehnologije |
Vodja |
2002 - 2004 |
0 |
9. |
04378 |
dr. Marina Santo Zarnik |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
0 |
10. |
19394 |
Lojze Simončič |
|
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
0 |
11. |
04383 |
dr. Danilo Vrtačnik |
Elektronske komponente in tehnologije |
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
0 |
12. |
17129 |
Marijan Žurga |
|
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
0 |
Organizacije (2)
Povzetek
Raziskani bodo kritični pojavi pri silicijevih piezouporovnih senzorjih, ki omejujejo osnovne lastnosti kot so ničelna napetost, linearnost odziva, časovna stabilnost in druge. Na podlagi analize prisotnih mehanskih napetosti v tankih plasteh na membrani, dolgoročne stabilnosti delovanja ter ustreznih tehnoloških rešitev pri mikroobdelavi silicija bodo, ob upoštevanju predhodnega dela, raziskani, načrtani in realizirani izboljšani prototipi senzorjev tlaka za nizka merilna območja. Analizirana bo tudi možnost miniaturizacije obstoječih piezouporovnih senzorjev tlaka za nove aplikacije, za katere obstaja na tržišču povečano zanimanje. V okviru predloženega dela bo realiziran tudi zajem in obdelava merjenih veličin z ustreznim elektronskim vezjem na osnovi mikrokontrolerja, ki bo skupaj s senzorskim elementom tvoril t.i. "smart senzor". Izdelani sistem bo uporabljen v proizvodnji merilnikov tlaka za medicinske in druge aplikacije. Rezultati in znanja, izvirajoči iz predloženega dela, bodo služili kot dobra podpora slovenski industriji v njenih prizadevanjih, da obstane v področju visokih tehnologij na zahtevnem svetovnem trgu.