Projekti / Programi
Tridimenzionalna elementarna tomografija tankoplastnih struktur in površin
| Koda |
Veda |
Področje |
Podpodročje |
| 1.02.05 |
Naravoslovje |
Fizika |
Fizika srednjih in nizkih energij |
| Koda |
Veda |
Področje |
| P180 |
Naravoslovno-matematične vede |
Meroslovje, fizikalna instrumentacija |
ionski mikrožarek, ionski pospeševalnik, spektroskopija, elementna analiza
Raziskovalci (3)
| št. |
Evidenčna št. |
Ime in priimek |
Razisk. področje |
Vloga |
Obdobje |
Štev. publikacijŠtev. publikacij |
| 1. |
12314 |
dr. Primož Pelicon |
Fizika |
Vodja |
2002 - 2004 |
0 |
| 2. |
05591 |
mag. Zdravko Rupnik |
Fizika |
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
0 |
| 3. |
18891 |
dr. Jurij Simčič |
Fizika |
Raziskovalec |
2002 - 2004 |
0 |
Organizacije (1)
| št. |
Evidenčna št. |
Razisk. organizacija |
Kraj |
Matična številka |
Štev. publikacijŠtev. publikacij |
| 1. |
0106 |
Institut "Jožef Stefan" |
Ljubljana |
5051606000 |
18 |
Povzetek
Razvili bomo način merjenja tridimenzionalne porazdelitve lahkih elementov z resonančnimi reakcijami (p,γ), kjer pričakujemo lateralno ločljivost 1 mikrometra in globinsko ločljivost nekaj deset nanometrov. Pri izbiri resonančne reakcije z zelo majhno širino (Γ< 1 keV) bo globinsko ločljivost pretežno določalo energijsko stresanje iona pri prehodu iona skozi snov. Globino, v kateri bomo merili lateralno porazdelitev izbranega elementa, bomo določili z energijo protonov iz pospeševalnika. V tem primeru je globinski doseg metode določen z resonančno energijo. Predvidevamo, da bo merjenje tridimenzionalne porazdelitve lahkih elementov z resonančnimi reakcijami (p, γ) mogoče za izotope 11B, 13C, 14N, 15N, 18O, 19F, 23Na, 26Mg, 27Al in 30Si.Že delujočo tridimenzionalno tomografijo z metodo Rutherfordovega povratnega sipanja bomo izboljšali s programskim orodjem IBA Data Furnace za analizo spektrov, ki z numerično metodo "simulated annealing" spreminjati hipotetično sestavo vzorca do ujemanja z izmerjenim. Za merjenje števila vpadlih ionov bomo razvili mehanski prekinjevalec žarka. Izmerjeno število sipanih ionov na prekinjevalcu žarka bo merilo za število vpadlih ionov. Na ta način bo mogoče normalizirati izmerjene spektre s številom vpadlih ionov na 1% natančno. Problem mrtvega časa analogno-digitalnega pretvornika (ADP) bomo odpravili s hitrim elektrostatskim odklonilnikom žarka, ki bo izklopil ionski žarek med analizo vsakega pulza na ADP. Razvili bomo metodo merjenja vzbujenega naboja v polprevodnikih (ang. Ion Beam Induced Charge, IBIC), s katero bomo merili geometrijsko strukturo zapornih plasti v polprevodnikih z mikrometrsko ločljivostjo.
